概要

高剛性ブリッジとエアパッドでY軸ガイドを4方向支持する構造により、クラストップレベルの高精度を実現。
新開発の駆動方式により運動性能が大幅向上。
温度変化による影響を抑える新設計のカバーを採用し、精度保証温度範囲を拡大。
高精度位置決めが可能な自動首振りプローブヘッドは、複雑な形状でもスタイラス交換を減らし測定効率を向上。
多様なプローブモジュールに対応し、汎用性に優れる。

【測定範囲】
X：850mm Y：1000mm Z：600mm

【精度】
最小表示量：0.01μm
最大許容長さ測定誤差 温度条件A(μm)：1.8+3L/1000、2.3+3L/1000
最大許容長さ測定誤差 温度条件C(μm)：1.8+4L/1000、2.3+4L/1000
最大許容長さ測定誤差 温度条件E(μm)：1.8+5L/1000、2.3+5L/1000

【最大寸法・質量】
作業面：1050mm×1900mm
最大高さ：790mm
最大質量：1000kg